第802章 欧皇妲：我不太懂光刻胶（2/2）

我带著团队试了三个月，调整了三十多种聚合物配比，始终突破不了。”

程新彤有些失落，她没想到自己带领的团队，还真就迟迟没法解决这个问题。

自己好歹从校园出来后，也从事这方面的研究二十年。

结果科技就是这样，突破不了，就是没法突破。

稍作停顿后，她继续往下分析。

“第三，敏感度。”程新彤的声音带上了一丝疲惫，“13nm製程用的光源波长极短，能量密度很高。我们的光刻胶要么敏感度不够，曝光时间太长影响產能；

要么敏感度上去了，但又会出现严重的產酸扩散，导致图案模糊。

这个平衡点，我找了国內三个顶尖团队会诊，都没给出可行方案。”

“我也请教过导师……导师一时间也没有什么建议。”程新彤苦涩的说道，“只说需要多尝试，用时间来试错。”

程新彤面露无奈，时间，她现在最缺的就是时间！

自从跟光电集团合併后，强强联合，公司的业务方面需要她担心的並不多，因此研究资金也丰裕了不少。可是如果再迟迟没法突破。

跟不上樱花国的前沿光刻胶步伐，那恐怕將会错过这个千载难逢的机会。

特別是紫晶工厂作为自研光刻机的机构，一旦对南彤光电失望，选择支持其他的光刻胶，那缺乏后续持续资金的投研，恐怕將会被淘汰。

旁边一位戴眼镜的男研究员补充道：“程总，还有缺陷率的问题。上周测试的批次，显影后缺陷密度还在30个/平方厘米以上，紫晶那边要求低於5个。”

程新彤点了点头，看向欧皇妲：“小师妹你看，解析度、lwr、敏感度、缺陷率，每一个都是死结。

现在紫晶那边的採购部已经放话了，如果三个月內拿不出达標的小批量样品，他们就要考虑在跟其他的厂家合作，支持其他厂家的光刻胶研究。

甚至……他们要自己展开研究。师姐我也是没办法了。”

程新彤无奈的说著。

会议室里安静了几秒。

秦嵐在一边如听天书，但她心里觉得：“这不会是紫晶工厂为了刺激新彤故意放出狠话吧？目前国內最顶级的就是新彤，再支持其他厂家，那不是要耗费更多时间么。”

欧皇妲放下奶茶杯，走到大屏幕前，目光扫过那些密密麻麻的参数表格和分子结构式。

“师姐，你们的聚合物骨架用的是甲基丙烯酸酯类吧？”欧皇妲忽然开口。

程新彤跟著她的目光，立即回答道：“对，pmma衍生物，目前国內最成熟的体系。”

“光酸產生剂呢？三芳基硫鎓盐？”

“是。”

“淬灭剂用的三级胺？”

“没错。”程新彤眼睛亮了一下，“小师妹你怎么一眼就看出来了？”