第230章 流片成功！（2/2）

十几秒的精细调整后，两个標记完美重合！

“对准完成！锁定！”

卓邵文的声音带著一丝不易察觉的颤抖，额角已渗出汗珠。

“设置曝光剂量…启动！”

话音落下的瞬间，高强度的汞灯光源再次提亮，经过复杂的光路系统和那个崭新的高精度物镜，將掩膜版上的精细图形按比例缩小，精確地投影到硅片表面的光刻胶上。

被光线照射区域的光刻胶发生化学反应。

整个曝光过程只有几秒钟，但紫光透过观察窗映在眾人脸上，气氛庄严而神圣。

曹文三和曲嵩等人在一旁，下意识地咽了口口水。

“步进！”

第一个区域曝光完成，工作檯在精密导轨带动下，精確移动一个晶片的距离，將下一个未曝光的区域移动到镜头下。

对准系统再次快速进行局部微调，然后再次曝光。

如此反覆，直到整片硅片的所有晶片区域都完成这一层图形的曝光。

张伟森紧盯著控制屏上的进度条，顾江河则紧张地记录著步骤。

12英寸的晶圆，光是一片步进曝光最终都耗时近一个半小时。

三片晶圆全都完成后，时间早已到了下午一点多。

曝光完成的硅片被吴培书迅速转移至专用的热板上进行短暂加热，以稳定曝光图形。

之后则被其放入显影槽进行显影工作。

一步步的流程之后，最终才进入蚀刻阶段。

一直到晚上六点多，三片晶圆的流片工作才结束。

眾人无论是有操作工作的，还是车间內等待的同志，都已经空了一整天肚子。

但这会儿眾人非但不累，反而愈发激动与紧张！

隨著吴培书將蚀刻后剩余的光刻胶彻底除去，清洗乾净后的硅片被送到进口的高倍率显微镜下。

沈永健此刻已等在此处，调整著显微镜的焦距，进行最后的测试工作。

镜头在硅片表面缓慢移动，车间里鸦雀无声，只能听到自己的心跳和呼吸声。

每个人都死死盯著沈永健的背影和他放在目镜上的手。

卓邵文，顾江海与吴培书等人也已退出操作区，等在边上同样大气不敢出，眼神里满是期待和忐忑。

时间一分一秒过去，沈永健看得极其仔细，在几个关键区域反覆观察。

由於低著头的缘故，眾人虽看不到他表情，但却能看到他眉头不时的微蹙。

这沉默的几分钟对所有人来说都无比煎熬。

尤其是在沈永健紧锁眉头换第二片晶圆时，大家的心也跟著一点点往下沉。

都难得见沈总工这般严肃脸色，难不成是失败了？

直至一刻钟后，在沈永健將最后一片晶圆检查完成，眉头才舒展开来。

在眾人的注视下，嘴角微微向上扬起，眼中闪烁著光芒，声音带著一种如释重负的喜悦。

“初次流片一共三片晶圆，第一片部分区域有毁损，算是失败。”

“还好后两片的图形清晰，线条完整，套刻精准，符合流片预期。”

“我宣布『581-3』集成电路第一次流片…成功！”

…