第42章 土光刻机製成（1/2）

拆装的主力最终还是落到卓邵文身上。

沈永健自己手上功夫不如对方稳，包括曹文三在內的两位平日在车间的技术员也一样。

卓邵文这位副研究员的確不止理论扎实，动手能力也是一流。

只不过这种精密仪器，尤其是这年代的老式精密仪器，完好的拆卸都不容易。

直到下午三点左右，显微镜才拆得差不多。

“今天就到这儿吧，明早再继续。”

…

“沈工，不继续安装么？”

卓邵文眼下声音倒是洪亮，只是双眼红血丝愈加多，而且都隱隱开始外凸。

沈永健虽然心中对这项目挺上心，但还没想要逼得这么紧。

“算了，今天就先到这儿。”

“绍文同志，我知道你能继续坚持，只是接下来的组装任务会更加艰巨，需要绝对集中的注意力。”

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“你先回去养足精神，今天就先到这里。”

眼见沈永健態度坚决，卓邵文虽然心痒却也不好坚持。

直至车间的大门锁上，也只得回去休息。

曹文三和曲崇二人同样听他安排，安心早下班回去。

第二日一早，三人再度回车间后，状態立刻不一样了。

卓邵文脸色虽然憔悴，但双眼红血丝褪去大半，看著才正常得多。

至於曹文三两人年纪小，一夜睡足后精神头极佳。

开始正式组装起土法的“光刻机”。

这一过程，一连持续了三天。

事实上整个组装用了两天，最后一天全用来进行校准与调试。

也全靠了沈永健眼下极强的数学能力，哪怕拆装的动手能力不及卓邵文，但在设备的调校上，他对角度、距离、光路计算的精確把控，让这台“拼凑”出来的设备精度达到了理论设计的极限。

“这算成了吧！？沈工？”

隨著卓邵文一声压抑著激动、带著微微颤抖的低呼，简易的紫外曝光灯亮起。

透过那精心倒置並调试过的显微镜物镜，在涂有临时调配光刻胶的多晶硅片上投射出清晰的图案边缘。

沈永健此刻心情也不由得激动，点了点头回应道。

“成了，初步研製是够用了。”

身前的这台由显微镜重新拆装后的“土光刻机”，虽然样子难看了些

整台机器零件顏色各异，但用是足够用了。

哪怕只是极其初步的验证，也標誌著这台光刻机核心部分已搭建完成，具备了进行光刻实验的基础能力！

曹文三和曲崇瞪大了眼睛，他二人当下也鬆了口气。

事实上，这次设备的製造他二人只是打打下手，更多的就是学习而已。

此刻看著那在紫光灯下显现的细微光斑，虽然不甚理解其全部意义，但卓邵文的激动和沈永健脸上那抹终於舒展的、带著成就感的笑意，让他们明白，这应当是件了不起的大事。

经过反覆確认使用效果，目前精度暂时勉强够用。

沈永健长舒了口气，连日紧绷的神经稍缓，拍了拍一旁卓邵文的肩膀。

“邵文同志，辛苦了！这第一步，咱们算是迈出去了！”

“后续等真正的硅晶圆製成后，还有场硬仗要打。”

卓邵文用力点头，眼镜片后的目光依旧紧紧盯著那光斑，心中的激动难以言喻。

要知道这可是光刻机，哪怕在沈永健眼中这机子还算不上真正的一代自製光刻机，但在卓邵文的视角下，这就是真正的第一代。

“沈工，硅晶圆製成还得多久？”

…