第192章 波折(2/2)
“好。我今天就和林薇说。“
苏辰放下手机,打开了给林薇的邮件。
他在邮件中写道:
“关於400mm边缘验证实验:
目的:在审稿意见出来之前提前准备400mm的间接验证数据。如果审稿人要求补充实验,我们可以快速回应,缩短revision周期。
方案:在华润微的300mm產线上,对边缘10mm区域进行局部热场控制实验,模擬400mm工艺条件。採集温度场分布、应力梯度和精度数据,与三阶模型的400mm预测进行对比。
周期:四周。如果现在启动,数据最早二月底出来。
费用:15-20万元。需要和华润微走正式商务流程。
负责人:张立(华润微)+ 我。
请审批。“
林薇十五分钟后回復了两个字:“批准。“
然后又补了一句:“费用走研发预算。赵国平协调商务流程。“
苏辰看完回復,立刻给张立发了消息:“林薇批了。商务流程赵国平和你们对接。什么时候可以开始准备?“
“下周一。“
“好。“
苏辰放下手机,靠在椅背上。
他看著实验室的天花板,心跳渐渐平稳下来。
投稿系统的波折让他紧张了两天,但现在他有了新的行动目標。不再只是等待——而是在等待的同时,为所有可能的结果做准备。
400mm边缘验证实验。
如果数据和三阶模型的预测一致,这不仅是应对审稿人的筹码,也是三阶模型適用范围的一次扩展验证。
如果数据不一致——
苏辰摇了摇头。
数据会一致的。
三阶模型是对的。
……
一月二十五日。
知乎。
“冷静分析师“终於回復了那个“mems行业观察“的帖子。
他的回覆不是在评论区,而是单独发了一篇新文章,標题是:
“关於独立验证——回復mems行业观察“
文章不长,只有两千字左右,但每一段都很有力。
“mems行业观察的帖子提出了一个合理的问题:薇澜的300mm数据缺乏一线大厂的独立验证。这个问题確实存在。但我想指出几个事实:
第一,薇澜的论文正在nature materials审稿中。nm的同行评审就是独立验证的最高標准之一。审稿人会审查所有数据、方法和结论。如果数据有问题,审稿人会发现。
第二,联盟成员都是中小企业这个说法是不准確的。联盟的核心成员中包括华润微电子——这是中国最大的晶圆代工企业之一,其300mm產线的数据是论文的重要支撑。华润微不是中小企业。
第三,关於为什么没有一线大厂加入联盟——这个问题的答案很简单:博世、意法半导体、英飞凌这些一线大厂是薇澜的潜在竞爭对手。你期待你的竞爭对手加入你的联盟?
第四,也是最重要的一点:独立验证不一定需要通过联盟来完成。全球mems领域有很多独立的研究者和实验室。论文一旦发表,任何人都可以用自己的数据来验证三阶模型。这才是真正的独立验证——不是联盟成员说我们验证了,而是全世界任何一个有数据的人都可以验证。
所以,缺乏独立验证这个论点在目前阶段是成立的。但它不是薇澜的致命弱点——它是所有未发表论文的共同特徵。等论文发表后,这个问题会自然解决。
真正的问题是:你等得起吗?“
这篇文章发出后,评论区依然分成两派。但和之前不同的是,这次质疑声明显更多了。
“说得好听,但论文还没发表就组了二十九家联盟,这不是画大饼是什么?“
“华润微提供了產线数据是没错,但华润微在mems领域算什么级別的?和博世比?“
“nm的拒稿率超过90%。我打赌这论文过不了审。“
“支持冷静分析师。但確实需要等论文。空谈没有意义。“
“等论文等论文,等到什么时候?都快两个月了。“
……
苏辰没有看这些评论。
他在实验室里,和张立通了一个小时的电话,確认了400mm边缘验证实验的具体方案。
实验將在华润微的300mm產线上进行。方案的核心思路是:300mm晶圆的边缘10mm区域,其热场分布模式和400mm晶圆的边缘区域在理论上是相似的。通过精確控制边缘区域的温度梯度,可以模擬400mm工艺条件下的热弹性耦合行为。
这不是一个完美的验证方案——它只能覆盖边缘区域,不能覆盖整个400mm晶圆的全局热场。但如果边缘数据和三阶模型的预测一致,至少可以证明模型的外推方向是正確的。
“有一个技术难点。“张立在电话里说,“边缘区域的温度控制精度要求很高——我们需要在±0.3°c的范围內控制温度梯度。我们现有的设备勉强能做到,但需要人工校准,效率会比较低。“
“效率低没关係。“苏辰说,“数据质量第一。每一组数据都要有完整的测量记录和误差分析。“
“明白。我会亲自负责数据採集。“
“谢谢你,张立。“
“不用谢。“张立的声音顿了一下,“说实话,我也想看看400mm的数据到底是什么样的。你的理论预测是±0.015°——如果边缘数据真的指向这个方向……“
他没有说完。
苏辰笑了一下:“数据会说话的。“
“是。数据会说话。“
电话掛断后,苏辰在笔记中更新了时间线:
“400mm边缘验证实验
启动日期:1月27日(下周一)
准备阶段:1月27日-2月2日(一周)
实验阶段:2月3日-2月17日(两周)
数据整理:2月18日-2月24日(一周)
预计完成:2月24日
註:如果一切顺利,数据將在审稿意见出来之前准备好。“
他看著这个时间线,在“预计完成“后面加了一行小字:
“即使审稿人不要求补充实验,这些数据也可以作为论文的supplementary material。不浪费。“
苏辰保存了笔记。
等待不是他的风格。
既然不能加速审稿流程,那就在等待的时间里做有价值的事情。
……
一月二十六日。
苏辰的邮箱里出现了一封新邮件。
发件人:石川明。
邮件的標题只有一个词:“data.“
苏辰点开邮件。內容很短——只有三行英文:
“dear su chen,
when your paper is published, i have some data that i would like to discuss with you. it may be relevant to the long-term implications of your model.
best regards,
akira ishikawa“
苏辰读了三遍。
三行字。每一行都很简短。但苏辰从中读出了三层意思。
第一层:石川明说的是“when“——“当你的论文发表“——不是“if“。这意味著石川明相信论文会被接收。
第二层:石川明说他有“data“——数据。不是意见,不是评论,是数据。这意味著石川明手里有真实的实验数据,而且这些数据和三阶模型相关。
第三层:石川明说这些数据“may be relevant to the long-term implications“——和模型的“长期影响“相关。不是製造精度,不是工艺参数,而是“长期影响“。
苏辰靠在椅背上,闭上眼睛。
长期影响。
长期。
他想到了自己笔记中写下的“后续研究方向“的第一条——“mems器件长期性能衰退的理论预测“。
石川明是tdk的陀螺仪工程师。他手里如果有数据,最可能的就是陀螺仪的长期性能数据——漂移率、老化曲线、温度循环后的精度衰减。
如果这些数据和三阶模型的预测吻合……
苏辰睁开眼睛。
他的心跳加速了——不是因为焦虑,而是因为兴奋。
石川明手里可能有一组数据,能够证明三阶模型不仅適用於mems製造,还適用於mems器件的全生命周期分析。
而这个人,是一个完全独立於薇澜联盟的日本工程师。
他的数据,如果公开,將是三阶模型的第一次真正的独立验证。
全球第一次。
苏辰想要立刻回復石川明,询问数据的具体內容。但他按捺住了衝动。
石川明说的是“when your paper is published“——他在等论文发表。
苏辰不应该在论文发表之前就向石川明透露更多信息。学术规范要求他在论文正式发表之前保持必要的保密。
他只回復了一封同样简短的邮件:
“dear dr. ishikawa,
thank you for your message. i look forward to that discussion. i believe it will be productive for both of us.
best regards,
su chen“
发完邮件后,苏辰在笔记中的“后续研究方向——方向1“旁边加了一句话:
“石川明確认手里有相关数据。等论文发表后討论。这可能是第二篇论文的关键。“
他看著这句话,在心里算了一笔帐——
第一篇论文正在审稿。
400mm边缘验证实验即將启动。
石川明手里有独立验证数据。
三条线。三条独立的验证线。每一条都指向同一个结论——三阶模型是对的。
审稿人会看到第一篇论文的数据。
苏辰自己会拿到400mm边缘验证的数据。
石川明会用自己的陀螺仪数据做独立验证。
三条线。三个独立的来源。
当这三条线匯聚在一起的时候,三阶模型將不再是“一家中国小公司的声称“。
它將成为事实。
无可爭辩的事实。
苏辰关上电脑,站起来走到窗前。
窗外的雨停了。一月二十六日的苏州,傍晚时分,云层裂开了一道缝,夕阳的光从中透出来,照在厂区的屋顶上,泛著暖金色的光。
苏辰看著那道光,嘴角微微上扬。
波折只是波折。
路还在。