第273章 第一道光刻(1/2)
“嗡——”
一声沉稳而有力的电流通过线圈的声音,在寂静的厂房里骤然响起。
这声音不像眾人担心的那样刺耳,反而带著一种令人心安的厚重质感。
操作台上的指示灯一排排地依次亮起,绿色的光芒映照在龙建国平静的脸上。
“崑崙一號”的主轴开始以极低的速度缓缓旋转起来。
紧接著,工作檯在伺服电机的驱动下,开始沿著x轴和y轴平稳地移动。
整个过程如丝般顺滑,没有丝毫的抖动和噪音。
只听得到伺服电机发出的轻微“嘶嘶”声,和导轨上滚珠滚动时那几乎微不可闻的细碎声响。
“动了!动了!”
人群中,不知是谁发出了一声压抑的惊呼。
所有人的心都提到了嗓子眼。
李卫国和王浩更是牢牢地盯著各自面前的监控屏幕。
“主轴跳动,0.1微米!”
“x轴定位精度,误差0.2微米!”
“y轴重复定位精度,误差0.15微米!”
软体团队的工程师们看著屏幕上那些不断跳出、代表著工具机实时运行状態、堪称恐怖的数据,一个个都惊得张大了嘴巴。
这些数据已经全面超越了他们仿製的那台德国dmg-50样机!
“天吶……我们,我们成功了?”一个年轻的工程师喃喃自语。
“闭嘴!测试还没结束!”王浩低声喝道,但他的声音里也带著掩饰不住的颤抖。
真正的考验是实际加工。
根据测试计划,第一次“开光”要加工的,是一个极其考验工具机综合性能的零件——一块用於光刻机工件台的超平面反射镜基座。
这块巴掌大小、用特种陶瓷烧制而成的基座,要求的平面度是0.5微米。
一块经过粗磨的陶瓷基座被自动夹具牢牢地固定在了工作檯上。
主轴上换上了一支高速金刚石磨头。
“嗡——”
主轴的转速开始急剧提升。
一万转,两万转,五万转!
最终稳定在了惊人的十万转每分钟!
在如此高的转速下,整个工具机依然稳如泰山。只有凑近了才能听到主轴发出蜜蜂振翅般的高频蜂鸣。
“开始加工!”
隨著王浩在计算机上敲下最后一行指令,高速旋转的金刚石磨头带著一往无前的气势,缓缓地靠近了那块黑色的陶瓷基座。
“滋——”
磨头与陶瓷表面接触的瞬间,溅起了一串细微得如星尘般的白色火花。
一股淡淡的陶瓷被灼烧的焦糊味在空气中瀰漫开来。
所有人都屏住了呼吸。
只见那支磨头在软体的精確控制下,以一种肉眼难以分辨的玄奥轨跡,在陶瓷基座的表面来回往復地游走著。
它每走过一遍,那块原本粗糙的黑色表面就变得更加光滑、更加明亮。
五分钟后。
磨头缓缓抬起,停止了旋转。
工作檯载著那块加工完成的基座,平稳地移动到了检测区。
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