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第236章 第一根中国「硅」(1/2)

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锦城,崑崙基地,盘古中心。

一號还原炉厂房里,灯火通明,气氛肃穆得如同发射前的火箭指挥大厅。

所有参与项目的核心人员,舒马赫、迈耶、王浩,以及几十名中国的工程师和技术员,全都穿著白色的无尘服,佩戴著口罩和护目镜,聚集在中央控制室里。

在控制室巨大的防弹玻璃窗外,那台从德国运来的,庞大的钟罩式石墨还原炉,正静静地矗立著。

它那黝黑的,由高纯度石墨砌成的炉体,在灯光的照射下,反射著一种深邃的光泽。炉体內部,两根比手臂还粗的,细长的硅芯,已经被稳稳地固定在了底部的电极上。

这,就是整个“西门子法”工艺的,心臟。

也是诞生高纯度多晶硅的,“子宫”。

“报告!真空系统准备就绪,炉內真空度,达到10的负5次方帕,符合工艺要求!”

“报告!冷却水循环系统正常,流量稳定!”

“报告!电源系统检查完毕,可以隨时启动!”

“报告!原料输送管道气密性测试通过,高纯度三氯氢硅与氢气的混合气体,已准备就绪!”

一名名操作员,大声地,匯报著最后的检查结果。

舒马赫站在总控制台前,手里拿著一个对讲机,他的表情,异常的严肃。

这几个月来,他和他的团队,已经进行了无数次的,模擬运行和分系统测试。

他们成功地,用国產的氢化反应塔,生產出了合格的三氯氢硅原料。

他们又用那座三十米高的,德国造的精馏塔,將粗製的原料,提纯到了电子级的,9n(99.9999999%)级別。

现在,所有的准备工作,都已经完成。

接下来,就是最关键的,也是最激动人心的一步——化学气相沉积。

將高纯度的三氯氢硅和氢气,在1200摄氏度的高温下,与炉內的硅芯发生反应。三氯氢硅被还原,分解出的高纯度硅原子,会像下雪一样,一层一层地,沉积在硅芯的表面,让原本细长的硅芯,慢慢地“长胖”,最终,变成一根粗壮的,高纯度的多晶硅棒。

这个过程,听起来简单,但对工艺的控制,要求却苛刻到了极点。

温度、压力、气体流速、原料配比……任何一个参数的微小波动,都有可能导致沉积失败,甚至,引发爆炸。

“舒马赫先生,”王浩站在他的身边,手心里,全是汗,“可以开始了吗?”

舒马赫看了一眼墙上的时钟,又看了一眼控制面板上,那几十个显示著正常状態的绿色指示灯。

他深吸一口气,拿起了对讲机。

“所有单位注意,我宣布,『盘古一號』还原炉,首次点火程序,现在开始!”

“启动加热程序,目標温度,1200摄氏度!”

隨著他一声令下,操作员按下了启动按钮。

一股强大的电流,瞬间通过底部的电极,注入到那两根细长的硅芯中。

硅芯,就像两根巨大的电阻丝,在巨大的电流作用下,开始迅速升温,顏色由灰白,慢慢变成了暗红,然后,是橘红,最后,变成了耀眼的,亮白色。

控制室里,所有人都屏住了呼吸,眼睛一眨不眨地,盯著屏幕上的温度曲线。

五百摄氏度……八百摄氏度……一千摄氏度……

温度,在稳定地,向上攀升。

“温度达到1200度,加热完成!”操作员报告道。

“很好。”舒马赫的额头上,也渗出了一层细密的汗珠。

“现在,开始通入混合气体。流量,每分钟五十升。氢气与三氯氢硅摩尔比,十五比一。”

阀门被缓缓打开。

经过精確配比的,高纯度混合气体,开始被注入到那炽热的,白光闪耀的炉膛之中。

最关键的时刻,到来了。

控制室里,安静得能听到每个人的心跳。

所有人都知道,一场无声的,神奇的“点石成金”的魔法,正在炉膛里,悄然上演。

时间,一分一秒地过去。

一个小时……

两个小时……

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