第92章 1.5纳米级光刻机问世，刷新世界水准极限！（2/2）

反应过来的楚敘白甩了甩头，连忙应下，隨后像阵风般的冲了出去。

不一会的工夫。

周明远来了，气喘吁吁。

一进屋就向实验区域走去，目光在一眾机器上扫视：“小陆院长，快让我看看光刻机！”

小神童科研院的实验室已经很大了，但此时还是有些迈不开脚。

因为地上堆积了不少失败的產品，都是陆泽一次次製作出来后，又丟弃的。

此时见周明远这般急不可耐，陆泽也是笑了笑，向著一台没有涂料，光禿禿的机器走去。

这机器，呈现长方形，三米高，十米长。

尺寸可以说完全是按照现今最强的euv光刻机打造。

其內包含光源模块、光学系统、工件台、掩膜台、覆盖双工件台、真空腔体、冷却系统、减震支架等等。

可以说五臟俱全，没有一处减配。

乍一看上去，还真像那么回事。

“厉害啊！这么大的一个东西，真难以想像你一个小孩子怎么做出来的！”

还没等看光刻机的实际效果，周明远就忍不住先夸讚了起来。

陆泽笑笑不语。

他天生神力，耐力超群，跟普通小孩比就是两个维度的生命，自然可以做到。

此刻不纠结这个话题，上前介绍道：“这是一台1.5纳米级的光刻机，光源功率超过250w，数值孔径0.55，套刻精度小於1.1纳米，產能也是远大於7纳米光刻机，以下是具体参数……”

陆泽正说著。

可旁边的周明远已经听呆了。

早在听见第一句时就已经听呆了！

1.5纳米！

这竟然是一台1.5纳米级的光刻机！！

要知道，现在世界上最顶级的euv光刻机，也就是被漂亮国卡脖子，限制进口的那个版本。

参数虽说是支持5纳米以下的工艺，但其实到3纳米就已经极限了。

而这，都已经让全球无数国家望尘莫及。

甚至大夏根本不敢往那上边想，现在研製的duv光刻机，经过多重曝光手段，才堪堪达到等效7纳米。

结果陆泽一出手，半年不到，1.5纳米级光刻机问世！

这他妈简直是天神下凡！

周明远能不傻吗？

甚至三四个月前，他来到小神童研究院的那个晚上。

当听见陆泽说要发明光刻机时，他都以为只是要研製一个跟国际顶尖水准差不多的3纳米级euv光刻机。

谁成想，陆泽直接不可思议的超车。

一口气干到了1.5纳米！

真他妈就一个字，绝！

……

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