第108章 光刻机（1/2）

1966年2月25日清晨，上沪元件五厂的铁柵栏大门上还掛著褪色的春节对联。陈樾的吉普车碾过厂区坑洼的水泥路面，溅起的泥水在车门上画出几道弧线。厂长周志明小跑著迎上来，袄最上面的扣子系错了位，露出里面洗得发白的蓝布衬衫领子，领口处还別著一枚小小的毛主席像章。

“欢迎陈总蒞临指导！“周厂长的声音有些发抖，呼出的白气在零下五度的寒风中迅速凝结成霜。他身后站著两排穿著深蓝色工装的工人，有个年轻小伙子的鞋破了个洞，露出里面打著补丁的旧袜子，在雪地里不停地跺著脚取暖。

陈樾点点头，目光扫过厂区斑驳的砖墙。墙上的“抓革命、促生產“標语已经褪色，角落里堆著几个锈跡斑斑的铁桶，桶身上还残留著“小心轻放“的俄文字样。科技系统的扫描光幕无声展开，將整个厂区的建筑布局、设备分布尽数收入知识库。

“先去三號车间看看。“陈樾说著，注意到周厂长的右手小指缺了一截——那是三年前一次设备事故留下的伤痕，伤口癒合处还留著明显的疤痕。

电晶体生產车间比想像中还要简陋。十几台老式设备发出嗡嗡的轰鸣声，空气中瀰漫著松香、金属和机油混合的刺鼻味道。一个扎著麻辫的女工正用镊子小心翼翼地夹起比米粒还小的晶片，她的工作檯上摆著个印有“劳动光荣“字样的搪瓷缸，里面的茶水已经凉了，表面结了一层薄薄的茶锈。

“这是我们最好的净化工作檯。“周厂长指著角落里用塑料布和木框临时搭建的封闭区域，语气中带著掩饰不住的自豪。塑料布上沾满灰尘和油渍，一角还破了个洞，用医用胶布草草粘著，透过缝隙能看到里面摆放的精密仪器。

陈樾走近那台手摇式光刻机，黄铜部件已经被岁月磨得发亮，操作手柄上的防滑纹路几乎被磨平。他假装调整设备焦距，实则启动了科技系统的全方位扫描功能。淡蓝色的光幕扫过机器內部复杂的齿轮传动结构，在他的视网膜上投射出精密的三维立体图纸。角落里，一个头髮白的老师傅正在用狼毫小楷笔修补掩膜版上的缺陷，笔尖细得像头髮丝，手腕稳如磐石。

“这台机器每天能刻多少片晶圆？“陈樾问道，手指轻轻抚过工作檯上深浅不一的划痕，那是多年使用留下的岁月痕跡。

“三十片，如果不停电的话。“周厂长的回答让陈樾心头一紧。这个数字还不到他前世参观过的现代化晶片厂產能的百万分之一。窗外的电线桿上，几只麻雀在寒风中瑟瑟发抖，更显得厂房內热火朝天的工作氛围格外珍贵。

2月26日，陈樾换上了和周厂长借来的深蓝色工装。衣服明显大了一號，袖口磨得起了毛边，后背上还有一块洗不掉的机油污渍。他跟著產线老师傅王建国从头开始製作3ag95电晶体，车间的暖气管道年久失修，呼出的白气在显微镜的目镜上结了一层薄霜，需要不时用袖口擦拭。

“陈总，您看这个掺杂浓度...“王师傅的手粗糙得像老树皮，指甲缝里还残留著洗不掉的油污，但操作起精密仪器来稳如磐石。他指著示波器上跳动的绿色波形，眉头皱成了深深的“川“字，额头上渗出细密的汗珠。

陈樾凑近观察，趁机让系统扫描了整个工艺流程。氧化炉的温度显示有些偏差，扩散工序的时间控制也不够精確，但这些都难不倒这些在艰苦条件下坚持研发的工人们。当最后一片成品从镀膜机里缓缓送出时，王师傅突然红了眼眶，用布满老茧的手背抹了抹眼睛：“三年前我们试製第一批管子，成品率还不到5%，现在能到65%了...“

窗外的广播正播放著《咱们工人有力量》，激昂的歌声穿过结霜的玻璃窗，变得有些模糊不清。陈樾注意到王师傅的工作檯下压著张泛黄的全家福，照片上的年轻人穿著崭新的工装，胸前別著大红，笑容灿烂如朝阳。

3月3日傍晚，一个印著外文字母的木箱通过特殊渠道运抵上沪港三號码头。海关的封条上还沾著海水的咸腥味，开箱时，陈樾闻到了熟悉的防锈油味道——是正宗的dsw4800光刻机，虽然已经是五年前的旧型號，但对现在的夏国来说依然是宝贝。

“乖乖，这得多少外匯啊...“港口老装卸工李师傅咂著嘴，粗糙的手指在木箱上小心翼翼地摩挲，生怕刮了漆面。他的解放鞋鞋底已经磨平，在潮湿的水泥地面上留下淡淡的水痕，裤腿上还沾著码头特有的铁锈和煤灰。

陈樾亲自检查了设备。这台二手光刻机保养得很好，控制面板上的英文標籤有些发黄，但每个按键都擦得鋥亮，显然原使用者很爱惜。他注意到运输过程中有个镜头支架鬆动了，便藉口调整设备水平，让系统完成了全面扫描。扫描光幕下，这台机器的每个螺丝、每根导线都无所遁形，全部转化为数字模型存入知识库。

“精度15微米，比我们现有的强十倍不止。“隨行的年轻工程师小刘兴奋地说，眼镜片后的眼睛亮得像星星。他的笔记本上密密麻麻记满了参数，字跡工整得像印刷体，页边还画著几个简易的机械结构示意图。